设计特点
毫微米级的表现以一个大旅行格式
高分辨率(1毫微米),反复性(75毫微米)和准确性(250毫微米)
<1 nm的位置稳定
反蠕动横渡路辗轴承
高动态性能
介绍
Aerotech的ANT95L系列阶段是与很大地比25 mm旅行的世界的第一个毫微米级的定位系统。ANT95L和ANT95L-PLUS横渡路辗阶段是最在班在结合速度、准确性、决议、反复性、可靠性和大小和被提供在两个准确性等级。这些线性阶段陈列5 g加速度,500个mm/s速度,改进的运载能力并且对登上允许他们的在各种各样的配置的用途的样式的规范化的,普遍基地是可利用的。
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