设计特点
联合低调X - Y的直线电动机阶段
毫微米级的表现以一个大旅行格式
高分辨率(1毫微米),反复性(75毫微米)和准确性(250毫微米)
<1 nm的位置稳定
反蠕动横渡路辗轴承
与直接驱动技术的高动态性能
表现超等级选择
介绍
ANT130XY系列阶段提供在X - Y的旅行的毫微米级的表现160 mm。集成,光滑设计只提供85 mm极低的外形。阶段来与私有的直接驱动马达技术、没有接触的线性编码器、极限、联合缆绳管理系统和三个表现等级。
Ultra-Precise阶段设计
ANT130XY设计允许关键因素例如正交性、将被优选的平直度和扁平,造成与例外几何容忍的一个阶段。Aerotech的直接驱动技术没有滞后作用或后退,使能准确和反复性的毫微米标度行动在X和Y维度。所有旅行选择(60 mm x 60 mm,110 mm x 110 mm,160 mm x 160 mm)来与85 mm外形高度。联合缆绳管理系统在青年设计和使阻力减到最小
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