设计特点
集成式小尺寸 XY 线性电动机平台
卓越的几何性能(直线度达 ±0.4 µm;平面度达 ±1 µm)
防爬行精密交叉滚柱轴承
选择范围广 - 行程和精度有九种型号
Aerotech的...narDL系列工作台结构紧凑、外形小巧,具有优异的几何和动态性能。从表面轮廓测量到 LED 晶圆划线,各种行程和性能选择使该平台成为理想应用。
卓越的平台设计
...narDL XY 设计可在对运动直线度和平面度要求极高的应用中实现业界领先的平面几何性能。高精度防反斜交叉滚柱轴承、精密加工表面和通过轴中心刚度驱动的 Aerotech 线性电动机使定位平台具有卓越的几何公差。
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