设计特点
所有轴均具有全预紧力
双线性电机驱动 Y 轴
行程为 1.2 米乘 1.2 米
线性编码器或激光干涉仪反馈
主动偏航控制
Aerotech 长期以来一直致力于设计和制造世界上最高性能的运动系统, 以直接满足客户的关键应用需求.这些努力帮助我们实现了众多行业的关键技术,包括半导体、医疗和.../航空航天。这些丰富的历史和经验最终促成了 ABL9000 气浮轴承运动平台的开发。ABL9000 专为满足晶圆、平板显示器和光学检测与制造的苛刻要求而设计,树立了新的性能标准。
气浮设计
ABL9000 在垂直和水平表面上均有主动预载。相对的薄膜压力可保持轴承的公称间隙公差。这种设计,再加上大面积的空气轴承表面将载荷分布在大面积表面上,使平台具有出色的刚度,非常适合重载或偏置载荷。
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