设计特点
空气轴承扫描轴;机械轴承步轴
双重线性马达主导的步轴
对1.2米的旅行由1.2米
线性编码器或激光干涉仪反馈
AHL9000是最新的加法对空气轴承阶段Aerotech的家庭并且是要求仔细平衡价格和表现的应用的一个优秀选择。这个阶段为要求优秀步和扫描表现的要求的应用设计。应用包括薄酥饼检查、平板显示器制造业和光学检查和制造。
杂种轴承设计
AHL9000扫描轴被设计了使用为ABL9000平面气浮轴承开发的被证明的空气轴承技术。这个轴使用垂直和水平面上的活跃预压为了提供卓著的僵硬和动态性能。AHL9000也利用一个机械负担的步轴的成本效益。这两负担的技术的组合在一个阶段的提供为步和扫描操作被优选的一个系统。
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