设计特点
先进的碳化硅结构可实现高动态和超精确运动性能
速度达 1.5 m/s,加速度达 5 g
专有的反作用力质量设计可实现快速周转和移动安放时间
主动和被动隔离系统选项
编码器或激光干涉仪反馈
改进了热管理的直线电机
先进的控制解决方案提高了吞吐量
Aerotech在半导体制造等高科技领域提供超精密定位系统的悠久历史, 促成了关键运动技术的不断发展和改进.在这些技术的基础上, Aerotech 开发了 ...narHDX, 市场上最先进的商用平面气浮平台.使用有限元分析优化的碳化硅结构和优化的气浮补偿技术,...narHDX 在保持无与伦比的几何特性和定位精度的同时,提供了尽可能高的动态性能。
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