Semitron® PAI 是一种聚酰胺材料产品系列,专为半导体和电子器件制造中要求极高的应用而开发,如高压范围、高温和需要高离子纯度的真空腔体应用。每种产品都具有 PAI 出色的机械和热性能,并采用特殊配方,以满足半导体制造的严格纯度和电压要求。
Semitron® ESD 520HR 是一种静电耗散 PAI 材料,具有在高压下抗介电击穿的独特能力。因此,Semitron® ESD 520HR 是在 100V 至 1000V 电压范围内唯一保持性能不变的 Semitron® 等级,同时在要求严苛的应用中还表现出中卓越的机械性能。这一特性加上其高强度和耐热性,使 Semitron® ESD 520HR 成为半导体和电子行业测试设备和装置装卸应用的理想解决方案。
材料性能
耐 100V 至 1000V 介质击穿
静电耗散
高机械强度
耐热性高
Semitron® MPR 1000 型材具有良好的耐热性,在等离子体室中渗气性低且侵蚀率低。这种离子含量低的高纯度材料通常被选择用于半导体和电子工业中蚀刻、CVD 和离子植入细分领域的真空室应用。
Semitron® MPR 1000 的使用寿命比传统材料长,例如在某些情况下,其在臭氧中的使用寿命比 PI 高 25 倍以上。由于使用寿命长,其被指定用于真空室应用所用的传统材料,比如石英、陶瓷、PI 和其他工程塑料。
材料性能
低离子含量和低渗气性
良好的耐热性
等离子腔体内侵蚀速率较低
理想的抗碎性、耐久性和机械加工性
定制用于高要求腔体内应用