高精度的非接触测量系统
测量范围从ø5 μm开始。
在整个测量范围内(5 μm至2 mm)提供超高精度,线性度为±0,3 μm。
超高的重复性为±0,03 μm。
3200次/秒的高扫描率
分辨率
(可选择):
0,00001-0,01毫米
20°C时的线性度 *¹:
±0.3 μm
位置误差 *²:
±0.4 μm
测量区域。
1 x 2 mm
激光波长。
650纳米,可见光
扫描速度。
3200次/秒的扫描
扫描速度。
76米/秒
适用的激光标准。
IEC,FDA
重复性(±2ơ)。
±0.03 μm
英制-公制。
公制
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