EddyCus® TF map 2530系列在非接触模式下自动测量大型样品的薄层电阻,最大可达300 x 300 mm²(12 x 12英寸)。在手动定位样品后,设备会自动测量并显示整个样品区域的薄层电阻的精确图谱。测量设置允许轻松灵活地选择低于1分钟的快速测量时间或超过10万个测量点的高空间测量分辨率。
亮点
非接触
快速而精确的测量
导电薄膜的高分辨率制图
对300 x 300毫米(12 x 12英寸)的基板进行成像
甚至对隐藏和封装的导电层进行表征
各种软件集成的分析功能(如片状电阻分布、线扫描、单点分析)。
测量数据保存和导出功能
缺陷检测和涂层分析
类型
该设备平台有不同的传感器配置,包括用于电气表征的涡流传感器或用于光学表征的传感器。测量配置的变体涉及以下选项。
特性
技术:非接触电涡流
通过多点测绘成像
定位区域。300 mm x 300 mm
采样区域。300 x 300 mm
推荐的样品尺寸。1英寸到12英寸或25到300毫米
软件和设备控制
非常用户友好的软件
实时制图测量
易于使用的统计分析选项
预先定义的测量和产品配方(尺寸、间距、阈值)。
行扫描、直方图和区域分析
黑色和彩色的图像编码
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