EddyCus® TF map 5050系列是一个高分辨率的非接触式成像设备系列,用于取样区域达500 x 500毫米(20 x 20英寸)。这个台式设备在不同的测量点上自动测量,通常X和Y的间距为1毫米(40密耳),产生精确的映射。该系统每秒飞快地获取数百个测量值,从而产生高分辨率的图像,每个样品包含多达25万个测量点。台式设备允许根据其设置对金属厚度、板材电阻或电各向异性进行精确成像。由此产生的属性图像提供了对金属层均匀性和缺陷密度的深入了解,因此为材料和工艺优化提供了深刻的基础。应用涉及溅射、蒸发、ALD、CVD、电镀或掺杂和退火过程的质量保证。
重点介绍
非接触式成像
快速和准确
1毫米间距的高分辨率成像(可选择0.25至10毫米)。
采样面积为500×500毫米(20×20英寸)。
先进的层均匀性分析和缺陷镜检查
隐藏和封装的导电层的表征
深入的软件集成分析功能(线型图、直方图分析、选择性区域分析、统计)。
混合系统(如结合电和光学成像)。
系统的质量控制、进货检查、出货检查
类型
设备提供不同的传感器配置,使用光学元件的涡流传感器。
特征
技术:非接触式电涡流传感器
采样区域。500 x 500 mm
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